支持5X-100X物镜
高精度、宽工作范围的激光自动聚焦模式
高精度、宽工作范围的激光自动聚焦模式
AOI检测不仅仅是一部检测设备,对大量不良结果进行分类和统计,可以发现不良发生的原因,在工艺改善和生产良率提升中也正逐步发挥着更重要的作用,我司高倍半导体自动对焦系统AOI,在电子元件、半导体缺陷等等邻域有多个解决方案。
5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
14μm | 3.5μm | 1.6μm | 0.9μm | 0.6μm |
12mm | 4mm | 1.5mm | 0.5mm | 0.15mm |