支持5X-100X物镜

高精度、宽工作范围的激光自动聚焦模式

高倍半导体自动对焦系统AOI

AOI检测不仅仅是一部检测设备,对大量不良结果进行分类和统计,可以发现不良发生的原因,在工艺改善和生产良率提升中也正逐步发挥着更重要的作用,我司高倍半导体自动对焦系统AOI,在电子元件、半导体缺陷等等邻域有多个解决方案。

应用领域

晶圆无图案/有图案检测
面板检测
IC载板检测
OLED缺陷检测
OLED缺陷检测

产品参数

项目
放大倍率
景深
激光对焦范围
激光对焦频率
对焦精度
对焦方式
激光性能
波束形状
激光自动聚焦循环时间
物镜切换时间
物镜切换精度
尺寸
工作温度
重量
靶面尺寸
搭配Plan APO 无限远显微物镜
5x 10x 20x 50x 100x
14μm 3.5μm 1.6μm 0.9μm 0.6μm
12mm 4mm 1.5mm 0.5mm 0.15mm
5KHz
max 0.25倍物镜景深
同轴激光追焦
670nm线激光
45°倾斜线激光
<0.1s
<0.5s
0.5um
285mm*525mm*210mm
5~50℃
13kg
靶面支持φ30mm

技术优势

高精度、宽工作范围的激光自动聚焦模式,支持5x~100x物镜
可增加物镜切换器,最多支持5个物镜切换
使用紧凑的结构设计使产品具有最小体积与重量
可依照客户要求定制
高倍半导体自动对焦系统AOI(手册)
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